Магнетронные распылительные системы (Appendix_1)

Посмотреть архив целиком

Приложение А

(справочное)


Рабочие и энергетические характеристики распылительных систем


Вид

распылительной системы

Рабочее давление, Па

Рабочее напряжение, кВ

Энергия ионов, Wi1,610-16 Дж

Ионный ток Ii, А

Мощность, подводимая к системе c,

кВт

Коэф. преобразования мощности =IiUi/c

Энергетическая эффективность (по меди)

распыления,

10-9 кг/Дж

системы, 10-9 кг/Дж

Диодная на постоянном токе

1,3 - 13

3,0 – 5,0

2,0 – 3,5

0,5 – 0,8

2,0 – 5,0

0,5 – 0,6

0,9 – 1,4

0,5 – 0,7

ВЧ диодная

0,6 – 6,6

1,0 – 2,0

0,7 – 1,5

1,0 – 2,0

3,5 – 5,0

0,3 – 0,6

1,6 – 2,5

0,5 –1,0

Триодная

0,06 – 0,66

1,0 – 2,0

1,0 – 2,0

3,0 – 5,0

10 –15

0,3 – 0,7

1,4 – 2,1

0,6 – 1,0

Триодная с локализацией плазмы магнитным полем

0,013 –

0,13

1,0 – 2,0

1,0 – 2,0

10 – 15

35 – 40

0,3 – 0,7

1,4 – 2,1

0,6 – 1,0

С автономным ионным источником

0,0013 –

0,013

1,0 – 3,0

1,0 – 3,0

0,2 – 0,5

8,0 – 10

0,03 – 0,15

1,0 – 2,1

0,06 – 0,15

Магнетронная на постоянном токе

0,13 – 0,66

0,4 – 0,8

0,3 – 0,5

15 – 20

8 –15

0,6 – 0,7

3,0 – 3,8

2,1 – 2,3

ВЧ магнетронная

0,13 – 0,66

0,7 – 1,0

0,5 – 0,7

2,0 – 4,0

3,0 – 5,0

0,3 – 0,6

2,5 – 3,0

0,9 – 1,5



Случайные файлы

Файл
41742.rtf
Phales.doc
8502-1.rtf
32645.rtf
72629-1.rtf




Чтобы не видеть здесь видео-рекламу достаточно стать зарегистрированным пользователем.
Чтобы не видеть никакую рекламу на сайте, нужно стать VIP-пользователем.
Это можно сделать совершенно бесплатно. Читайте подробности тут.