Магнетронные распылительные системы (Titul&vved&soderz)

Посмотреть архив целиком

Министерство образования Российской Федерации

Томский Политехнический Университет




кафедра английского языка

и технического перевода



Магнетронные распылительные системы




выполнил: В.В. Жуков,

аспирант, НИИ ЯФ, Лаб. 23.




Научный руководитель: В.П. Кривобоков,

профессор, заведующий Лаб. 23, НИИ ЯФ.








Томск 2001 год.

1 Введение


Целью настоящей работы является обзор конструктивных элементов магнетронных распылительных систем (МРС), а также рассмотрение принципа их действия и физических параметров.

Дело в том, что еще сравнительно недавно основным методом нанесения тонкопленочных покрытий были испарение и конденсация вещества в высоком вакууме. Методы ионного распыления материалов в следствие низких скоростей осаждения и высоких радиационных воздействий на обрабатываемые структуры использовались ограниченно. Появившиеся сравнительно недавно магнетронные распылительные системы, позволяющие наносить как тонкопленочные, так и пленочные покрытия в сотни микрон, позволили существенно расширить область применения ионного распыления материалов.

В последние годы в нашей стране и за рубежом проведены научные исследования и конструкторско-технологические разработки по созданию широкого класса МРС, а также установок и линий (в том числе непрерывного действия). Подобного рода установки нашли применение во многих областях науки и техники. А целесообразность и эффективность их использования доказана значительно возросшим интересом к разработке и внедрению все новых более совершенных систем.

В настоящей работе на основе литературных источников сделан обзор конструкций магнетронных распылительных систем, их составных частей, кратко рассмотрены основные параметры и физические принципы работы.

Содержание



1 Введение

2 Принцип действия и рабочие параметры МРС

3 Конструкции магнетронных распылительных систем

4 Заключение

5 Conclusion

Список использованных источников

Приложение А - Рабочие и энергетические характеристики

распылительных систем



Случайные файлы

Файл
29003-1.rtf
183135.rtf
1610.rtf
103604.rtf
75776-1.rtf




Чтобы не видеть здесь видео-рекламу достаточно стать зарегистрированным пользователем.
Чтобы не видеть никакую рекламу на сайте, нужно стать VIP-пользователем.
Это можно сделать совершенно бесплатно. Читайте подробности тут.